机型简介

HEP-FR20系列光纤激光调阻机，在修刻和改善厚膜混合电路及表面修刻方面提供了一个更新的方法。采用了新的光纤激光源，使其在修刻各种线性电阻及半导体材料时拥有了更小的、更干净的切线。光纤激光具有更好的特性和免维护，优良的稳定性向用户提供了更高的生产效率和更高的调阻精度。

HEP-FR20光纤激光调阻机具有更高的耦合性和更强的吸收性激光波长。有效的应用在厚膜、薄膜、电容和电感的修刻。另外，该款机器在对切割质量和尺寸要求严格的微米级机械加工方面更为优秀。

HEP-FR20光纤激光调阻机的其它特性包括工控计算机、专利技术、闭环操作、重复性、图像识别、高速测量系统同样促使和普激光成为了激光调阻机的有力供应商,并得到广大客户的认可。

技术参数

光束定位

类型：温度控制，闭环伺服控制扫描系统

修刻面积：102mmX102mm

点点移动时间：编程电机相应时间，典型的移动时间6ms

最大切割速度：6000mm/s

分辨率：2.5μm

重复精度：5μm

激光

类型：光纤激光，调制模式

波长：1064nm

输出功率：20W

最大重复频率：100kHz

光学

典型光斑尺寸：15到25μm（51mmX51mm区域），25到40μm（102mmX102mm区域）

焦深：0.8mm

实际切口宽度与材料、光学和激光波长有关

校直/监视

校直：自动基准和多部件校直用显示设备

照明：LED冷光

监视：CCTV监视器

修刻区域放大：

最小区域大小（最大放大）：2.5mmX2mm

最大区域大小（最小放大）：10mmX8mm

定位：图像识别自动定位

计算机

主机：工业控制计算机

显示器：LCD

接口：RS232串口,USB，IEEE-488或网络接口

可选：可编程I/O卡

软件

HepTrim 软件：菜单驱动式界面，交互启动窗口，标准修刻数据库，标准数据驱动及修刻、测试等自动监控, 可以对部件码，系列码，日期码,合格码等自动处理,可实现连片自动定位修刻，图像自动识别定位修刻

服务软件：菜单化，模块化诊断和校准检测过程

电阻测量

型号：四探针，输入电流，测量电压

范围：<1Ω 到 104MΩ（22位范围）

精度：

低阻：±0.05% [±5%/R]

中阻：±0.05%

高阻：±0.05% [±0.05% x R]

连续误差：+/-[0.1%+积分精度 ]

分辨率：大约0.002%范围

转换速度：35μs

校准：自动

防护电压：1mV

活动电流：100mA

修刻比较分辨率：0.002%范围

直流电压测量

类型：微分式

范围：1V 到 10V（5档）

精度：大约0.1%读数

分辨率：大约40μV(1V档)

校准：自动

最大输入电压：10V

矩阵测量

类型：干簧继电器

配置：在所有测量线路的探针均有网点

矩阵探针数：64点

测量选择：HP34410A万用表

远程控制

通过USB或IEEE-488接口控制

操作选择

单步和连续操作

类型：伺服驱动X-Y工作台，闭环

面积：200mmX200mm

X-Y分辨率：5μm

X-Y精度：修刻区域内好于25μm

探针：可编程，气缸驱动，闭环

探针分辨率：3.2μm

探针板：工业标准，165mm

冷却方式

空气冷却